遠(yuǎn)在1643年,意大利物理學(xué)家托里拆利發(fā)現(xiàn),真空和自然空間有大氣和大氣壓力存在。他將一根一端封閉的長(zhǎng)玻璃管灌滿汞,并倒立于汞槽中時(shí),發(fā)現(xiàn)管中汞面下降,直至與管外的汞面相差76厘米時(shí)為止。托里拆利認(rèn)為,玻璃管汞面上的空間是真空,76厘米高的汞柱是因?yàn)榇嬖诖髿鈮毫Φ木壒省?br /> 1650年,德國(guó)的奧托·馮·格里克制成活塞真空泵。1654年,他在馬德堡進(jìn)行了的馬德堡半球試驗(yàn):用真空泵將兩個(gè)合在一起的、直徑為14英寸(35.5厘米)的銅半球抽成真空,然后用兩組各八匹馬以相反方向拉拽銅球,始終未能將兩半球分開。這個(gè)的試驗(yàn)又一次證明,空間有大氣存在,且大氣有巨大的壓力。為了紀(jì)念托里拆利在科學(xué)上的重大發(fā)現(xiàn)和貢獻(xiàn),以往習(xí)用的真空壓力單位就是用他的名字命名的。
19世紀(jì)中后期,英國(guó)工業(yè)革命的成功,促進(jìn)了生產(chǎn)力和科學(xué)實(shí)驗(yàn)發(fā)展,同時(shí)也推動(dòng)了真空技術(shù)的發(fā)展。1850年和1865年,先后發(fā)明了汞柱真空泵和汞滴真空泵,從而研制成了白熾燈泡(1879)、陰極射線管(1879)、杜瓦瓶(1893)和壓縮式真空計(jì)(1874)。壓縮式真空計(jì)的應(yīng)用使低壓力的測(cè)量成為可能。
20世紀(jì)初,真空電子管出現(xiàn),促使真空技術(shù)向高真空發(fā)展。1935~1937年發(fā)明了氣鎮(zhèn)真空泵、油擴(kuò)散泵和冷陰極電離計(jì)。這些成果和1906年制成的皮拉尼真空計(jì)至今仍為大多數(shù)真空系統(tǒng)所常用。
1940年以后,真空應(yīng)用擴(kuò)大到核研究(回旋加速器和同位素分離等)、真空冶金、真空鍍膜和冷凍干燥等方面,真空技術(shù)開始成為一個(gè)獨(dú)立的學(xué)科。第二次世界大戰(zhàn)期間,原子物理試驗(yàn)的需要和通信對(duì)高質(zhì)量電真空器件的需要,又進(jìn)一步促進(jìn)了真空技術(shù)的發(fā)展。
我國(guó)真空工業(yè)從誕生到經(jīng)歷了兩個(gè)發(fā)展期:從20世紀(jì)50年代開始到20世紀(jì)80年代中期是個(gè)發(fā)展期,這一時(shí)期是從制造簡(jiǎn)單的抽氣機(jī)開始的。當(dāng)時(shí)全國(guó)生產(chǎn)真空設(shè)備的企業(yè)不足20家,產(chǎn)品以中低檔真空獲得設(shè)備為主,如制鏡鍍膜機(jī)香煙包裝機(jī)等。從20世紀(jì)80年代后期到整個(gè)90年代是中國(guó)真空工業(yè)發(fā)展的第二個(gè)時(shí)期。這期間,生產(chǎn)企業(yè)增加到近3000家,從業(yè)人員達(dá)到3.5萬人。整個(gè)真空行業(yè)經(jīng)過“七五”、“八五”的技術(shù)改造后整體水平有了大幅提升,從加工條件上講,加工中心數(shù)控機(jī)床、樹脂砂鑄件等先進(jìn)生產(chǎn)設(shè)備開始裝備企業(yè)。到1996年,由于煉鎂行業(yè)的拉動(dòng),使真空行業(yè)得到飛速發(fā)展。